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会社名 | ノベリオンシステムズ株式会社 |
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事業 内容 |
(1)プラズマ・イオンビーム応用装置の開発と製造販売 ・ECRラインビームイオン源(ELBSシリーズ) ・モジュール型ECRプラズマ源(EPSシリーズ) ・ミリング用低エネルギー大電流イオン源 ・内径スパッタコーティング装置 ・各種プラズマ応用装置の開発受託と技術コンサルティング 他 (2)プラズマ・イオンビームプロセスの加工受託 |
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